변리사, 특허사무소 찾던 고객의 특허 등록 성공 사례- 박막 공정욕 오픈 마스크 특허 등록사례 -"박막 공정용 오픈 …
변리사, 특허사무소 찾던 고객의 특허 등록 성공 사례- 박막 공정욕 오픈 마스크 특허 등록사례 -"박막 공정용 오픈 마스크 시트 및 제조 방법"
변리사, 특허사무소 찾던 고객의 특허 등록 성공 사례- 박막 공정욕 오픈 마스크 특허 등록사례 -"박막 공정용 오픈 마스크 시트 및 제조 방법"
출원 연월일 :2020년 07월 16일
출 원 번 호 :10-2020-0087972
특허결정(심결)연월일 :2021년 11월 30일
청구범위의 항수 :1
유 별 :H01L 51/56
발명의 명칭 :박막 공정용 오픈 마스크 시트 및 제조 방법
존속기간(예정)만료일 :2040년 07월 16일
2022년 03월 03일 등록
(11) 공개번호 10-2022-0009599
(43) 공개일자 2022년01월25일
(51) 국제특허분류(Int. Cl.)
H01L 51/56 (2006.01) H01L 51/00 (2006.01)
(52) CPC특허분류
H01L 51/56 (2013.01)
H01L 51/0011 (2013.01)
(21) 출원번호 10-2020-0087972
(22) 출원일자 2020년07월16일
심사청구일자 2020년07월16일
(71) 출원인
제*****
경기도 화성시 양감면 초록로
(72) 발명자
김**
경기도 용인시 수지구 성복2로
(74) 대리인
김영관
전체 청구항 수 : 총 6 항
(54) 발명의 명칭 박막 공정용 오픈 마스크 시트 및 제조 방법
(57) 요 약
박막 공정용 오픈 마스크 시트 및 제조 방법이 개시된다. 박막 공정용 오픈 마스크 시트 제조 방법은, 금속시트
를 관통하는 적어도 하나의 개구부를 포함하는 박막 공정용 오픈 마스크 시의 제조 방법으로서, (a) 금속시트의
상부면과 하부면의 표면에 포토레지스트막을 형성하는 단계와, (b) 상기 (a) 단계의 상기 포토레지스트막을 노광
및 형상하여 상기 금속시트의 상기 상부면과 상기 하부면의 일부분이 노출되는 에칭용 개구부를 형성하는
단계와, (c) 상기 에칭용 개구부에 에칭액을 주입하여, 상기 상부면과 상기 하부면의 사이를 관통하는 개구부를
형성하는 단계와, (d) 상기 상부면에서 상기 개구부의 측면 위치에 하프에칭(Half Etching)을 형성하는 단계를
포함할 수 있다.
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