에어커튼유닛 LPM시스템 LPP시스템 특허등록 특허신청 대행 신청 최저수수료 무료출장상담 "에어 커튼 유닛을 구비하는…

에어커튼유닛 LPM시스템 LPP시스템 특허등록 특허신청 대행 신청 최저수수료 무료출장상담 

"에어 커튼 유닛을 구비하는 LPM 및 LPP 시스템"

에어커튼유닛 LPM시스템 LPP시스템 특허등록 특허신청 대행 신청 최저수수료 무료출장상담 

"에어 커튼 유닛을 구비하는 LPM 및 LPP 시스템"

출원 연월일: 

2018년 09월 13일 

출 원 번 호: 

10-2018-0109311 

특허결정(심결)연월일: 

2020년 07월 29일 

청구범위의 항수: 

3

유 별: 

H01L 21/677 

발명의 명칭: 

에어 커튼 유닛을 구비하는 LPM 및 LPP 시스템 

존속기간(예정)만료일: 

2038년 09월 13일 

2020년 08월 04일 등록 

(11) 공개번호 10-2020-0031185 

(43) 공개일자 2020년03월24일

(51) 국제특허분류(Int. Cl.)

H01L 21/677 (2006.01) H01L 21/67 (2006.01)

(52) CPC특허분류

H01L 21/67772 (2013.01)

H01L 21/67017 (2013.01)

(21) 출원번호 10-2018-0109311 

(22) 출원일자 2018년09월13일 

심사청구일자 2018년09월13일 

(71) 출원인 

주***** 

충청북도 청주시 청원구 오창읍 후기길

(72) 발명자 

이**

경기도 화성시 동탄순환대로22길

(74) 대리인 김영관

전체 청구항 수 : 총 5 항

(54) 발명의 명칭 에어 커튼 유닛을 구비하는 LPM 및 LPP 시스템

(57) 요 약

에어 커튼 유닛을 구비하는 LPM 및 LPP 시스템에 관한 발명이다. 본 발명의 에어 커튼 유닛을 구비하는 LPM 및

LPP 시스템은, 필터 박스; 상기 필터 박스의 일측에 연결되며, 상기 필터부에 의해 필터링된 에어(Air)가 유동되 

는 에어 덕트 바디; 및 상기 에어 덕트 바디에 결합되며, 상기 에어 덕트 바디 내에서 유동되는 에어를 분사하는

다수의 에어 분사 노즐을 포함한다.