가스장치 완충장치 특허등록신청방법 절차 조회 최저비용 무료방문상담
"가스압력 완충장치가 구비된 가스분석기용 매니폴드"
가스장치 완충장치 특허등록신청방법 절차 조회 최저비용 무료방문상담 "가스압력 완충장치가 구비된 가스분석기용 매니폴드"
출원 연월일 :
2019년 07월 30일
출 원 번 호 :
10-2019-0092228
공고 연월일 :
2019년 12월 18일
공 고 번 호 :
특허결정(심결)연월일 :
2019년 12월 05일
청구범위의 항수 : 6
유 별 :
G01N 1/22
발명의 명칭 :
가스압력 완충장치가 구비된 가스분석기용 매니폴드
존속기간(예정)만료일 :
2039년 07월 30일
2019년 12월 12일 등록
(45) 공고일자 2019년12월18일
(11) 등록번호 10-2057336
(24) 등록일자 2019년12월12일
(51) 국제특허분류(Int. Cl.)
G01N 1/22 (2006.01) F16K 15/00 (2006.01)
F16K 31/126 (2006.01) G01N 1/24 (2006.01)
G01N 33/00 (2006.01) H01L 21/67 (2006.01)
(52) CPC특허분류
G01N 1/2247 (2013.01)
F16K 15/00 (2013.01)
(21) 출원번호 10-2019-0092228
(22) 출원일자 2019년07월30일
심사청구일자 2019년07월30일
(56) 선행기술조사문헌
KR101782915 B1*
*는 심사관에 의하여 인용된 문헌
(73) 특허권자
신**
경기도 화성시 병점1로
(72) 발명자
신**
경기도 화성시 병점1로
(74) 대리인
김영관
전체 청구항 수 : 총 6 항
(54) 발명의 명칭 가스압력 완충장치가 구비된 가스분석기용 매니폴드
(57) 요 약
본 발명은 가스분석기로 유입되는 가스의 압력이 달라질 경우, 압력 차이로 인한 충격이 가스분석기로 전달되지
않도록 가스의 압력을 완화시겨 주는 가스압력 완충장치가 구비된 가스분석기용 매니폴드에 관한 것이다.
본 발명의 가스압력 완충장치가 구비된 가스분석기용 매니폴드는 각 공정별로 분석하고자 하는 가스가 공급되는
가스공급관들에 일대일로 연결된 샘플라인(20)이 연결되는 복수의 입력포트(111)와, 가스분석기(30)와 연결되는
제1출력포트(112)와, 제1진공펌프(40)와 연결되는 제2출력포트(113)를 가진 본체(110); 상기 본체의 내부에서 상
기 각 입력포트와 제1출력포트를 연결하는 제1분기관(120); 상기 제1분기관으로부터 분기되어 상기 제2출력포트
에 연결되는 제2분기관(125); 상기 본체의 내부에서 상기 제1분기관과 제2출력포트를 연결하는 제1바이패스관
(130); 상기 가스분석기에 연결된 제2진공펌프(50); 상기 제1분기관에 설치되어 각 입력포트별로 가스의 출입을
단속하는 밸브(133); 상기 제1분기관으로부터 분기되어 제1바이패스관으로 합류하는 제2바이패스관(140); 및 상
기 제2바이패스관에 설치되어 입력포트 전환시 상기 제2분기관으로 인가되는 가스의 압력충격을 완화시켜 주는
가스압력 완충장치(150)를 포함한다.
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