화성 변리사, 화성 특허사무소 찾던 고객의 특허 등록 성공 사례- 장비 특허 등록사례- "플라즈마 증착 장비"…
화성 변리사, 화성 특허사무소 찾던 고객의 특허 등록 성공 사례- 장비 특허 등록사례- "플라즈마 증착 장비"
화성 변리사, 화성 특허사무소 찾던 고객의 특허 등록 성공 사례- 장비 특허 등록사례- "플라즈마 증착 장비"
출원 연월일 : 2021년 12월 22일
출 원 번 호 : 10-2021-0184989
공고 연월일 : 2022년 11월 25일
공 고 번 호 :
특허결정(심결)연월일 : 2022년 09월 07일
청구범위의 항수 : 1
유 별 : H01J 37/32
발명의 명칭 : 플라즈마 증착 장비
존속기간(예정)만료일 : 2041년 12월 22일
2022년 11월 21일 등록
(45) 공고일자 2022년11월25일
(11) 등록번호 10-2470379
(24) 등록일자 2022년11월21일
(51) 국제특허분류(Int. Cl.)
H01J 37/32 (2006.01)
(52) CPC특허분류
H01J 37/3244 (2013.01)
H01J 37/32174 (2013.01)
(21) 출원번호 10-2021-0184989
(22) 출원일자 2021년12월22일
심사청구일자 2021년12월22일
(56) 선행기술조사문헌
KR101874495 B1*
KR1020150102020 A*
*는 심사관에 의하여 인용된 문헌
(73) 특허권자
주식회사 아**
경기도 화성시 마도면 청원산단
(72) 발명자
이**
인천광역시 남동구 운연천로
윤**
충청북도 청주시 청원구 내수읍 마산3길
박**
서울특별시 강북구 삼양로
(74) 대리인
김영관
전체 청구항 수 : 총 1 항
심사관 : 이희봉
(54) 발명의 명칭 플라즈마 증착 장비
(57) 요 약
본 발명은 소정 간격을 이루게 2개의 플라즈마 건을 설치하고 그 사이에 전구체 가스 매니폴드를 설치하여 플라
즈마를 방사하도록 함으로서 2개의 플라즈마 건에 의해 아치형 플라즈마의 방사 반경을 넓히고, 집중도를 높일
수 있도록 하여 기판에 증착되는 박막의 두께를 증가시킬 수 있도록 한 플라즈마 증착 장비를 제공한다
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