인천 변리사, 인천 특허사무소 찾던 고객의 특허 등록 성공 사례- CMP 패드 컨디셔너 특허 등록사례- "CMP 패드…
인천 변리사, 인천 특허사무소 찾던 고객의 특허 등록 성공 사례- CMP 패드 컨디셔너 특허 등록사례- "CMP 패드 컨디셔너 및 그 제조 방법"
인천 변리사, 인천 특허사무소 찾던 고객의 특허 등록 성공 사례- CMP 패드 컨디셔너 특허 등록사례- "CMP 패드 컨디셔너 및 그 제조 방법"
출원 연월일 : 2020년 10월 13일
출 원 번 호 : 10-2020-0132048
공고 연월일 : 2022년 11월 14일
공 고 번 호 :
특허결정(심결)연월일 : 2022년 08월 25일
청구범위의 항수 : 1
유 별 : B24B 53/017
발명의 명칭 : CMP 패드 컨디셔너 및 그 제조 방법
존속기간(예정)만료일 : 2040년 10월 13일
2022년 11월 09일 등록
(45) 공고일자 2022년11월14일
(11) 등록번호 10-2466715
(24) 등록일자 2022년11월09일
(51) 국제특허분류(Int. Cl.)
B24B 53/017 (2012.01) B24B 37/20 (2012.01)
B24B 53/12 (2006.01) H01L 21/67 (2006.01)
(52) CPC특허분류
B24B 53/017 (2013.01)
B24B 37/20 (2013.01)
(21) 출원번호 10-2020-0132048
(22) 출원일자 2020년10월13일
심사청구일자 2020년10월13일
(65) 공개번호 10-2022-0048774
(43) 공개일자 2022년04월20일
(56) 선행기술조사문헌
JP2010173016 A*
(뒷면에 계속)
(73) 특허권자
김**
인천광역시 연수구 원인재로
(72) 발명자
김**
인천광역시 연수구 원인재로
(74) 대리인
김영관
전체 청구항 수 : 총 1 항
심사관 : 최정섭
(54) 발명의 명칭 CMP 패드 컨디셔너 및 그 제조 방법
(57) 요 약
본 발명에 따른 CMP 패드 컨디셔너는, 소정 두께를 갖는 원판형의 모재와, 상기 모재의 상부에 형성되며, CMP 패
드와의 선접촉이 가능한 칼날형 돌기를 포함하고, 상기 칼날형 돌기의 칼날 형상에 의한 선접촉을 통해 패드 컨
디셔닝이 수행된다
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