이천 변리사, 이천 특허사무소 찾던 고객의 특허 등록 성공 사례- 로봇진단시스템 특허 등록사례- "로봇진단시스템 및 …
이천 변리사, 이천 특허사무소 찾던 고객의 특허 등록 성공 사례- 로봇진단시스템 특허 등록사례- "로봇진단시스템 및 로봇진단방법"
이천 변리사, 이천 특허사무소 찾던 고객의 특허 등록 성공 사례- 로봇진단시스템 특허 등록사례- "로봇진단시스템 및 로봇진단방법"
출원 연월일 : 2017년 11월 05일
출 원 번 호 : 10-2017-0146370
공고 연월일 : 2018년 08월 30일
공 고 번 호 :
특허결정(심결)연월일 : 2018년 07월 23일
청구범위의 항수 : 6
유 별 : H01L 21/67
발명의 명칭 : 로봇진단시스템 및 로봇진단방법
존속기간(예정)만료일 : 2037년 11월 05일
2018년 07월 25일 등록
(45) 공고일자 2018년08월30일
(11) 등록번호 10-1883885
(24) 등록일자 2018년07월25일
(51) 국제특허분류(Int. Cl.)
H01L 21/67 (2006.01) B25J 19/00 (2006.01)
H01L 21/677 (2006.01)
(52) CPC특허분류
H01L 21/67242 (2013.01)
B25J 19/0095 (2013.01)
(21) 출원번호 10-2017-0146370
(22) 출원일자 2017년11월05일
심사청구일자 2017년11월05일
(56) 선행기술조사문헌
KR1020080055789 A*
JP2008071270 A
KR1020110040955 A
KR1020130045589 A
*는 심사관에 의하여 인용된 문헌
(73) 특허권자
조**
경기도 이천시 아리역로
(72) 발명자
조**
경기도 이천시 아리역로
(74) 대리인
김영관
전체 청구항 수 : 총 6 항
심사관 : 이재일
(54) 발명의 명칭 로봇진단시스템 및 로봇진단방법
(57) 요 약
본 발명의 실시 형태는 반도체 공정이 이루어지는 챔버 내에 있는 각각의 로봇 동작을 진단하는 로봇진단시스템
에 관한 것으로, 로봇 구동 데이터를 수집하는 로봇 구동 데이터 수집기; 상기 로봇 구동 데이터를 이용하여 웨
이브릿 분석(wavelet analysis)의 진동 파형 분석, 모터토크 편차 비교 분석, 백래쉬 분석을 포함하는 로봇 상태
분석을 수행하는 로봇 진단 분석기; 및 상기 로봇 상태 분석된 결과를 표시하며, 분석된 로봇 상태가 기준 범위
를 벗어날 경우 로봇 불량을 표시하는 관리자 단말기;를 포함할 수 있다.
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