변리사, 특허사무소 찾던 고객의 특허 등록 성공 사례- 반도체 웨이퍼의 세정시스템 특허 등록사례 - "버퍼반전유닛을 …
변리사, 특허사무소 찾던 고객의 특허 등록 성공 사례- 반도체 웨이퍼의 세정시스템 특허 등록사례 - "버퍼반전유닛을 이용한 반도체 웨이퍼의 세정시스템"
변리사, 특허사무소 찾던 고객의 특허 등록 성공 사례- 반도체 웨이퍼의 세정시스템 특허 등록사례 - "버퍼반전유닛을 이용한 반도체 웨이퍼의 세정시스템"
출원 연월일 : 2022년 06월 28일
출 원 번 호 : 10-2022-0078731
공고 연월일 : 2023년 01월 31일
공 고 번 호 :
특허결정(심결)연월일 : 2022년 12월 28일
청구범위의 항수 : 3
유 별 : H01L 21/677
발명의 명칭 : 버퍼반전유닛을 이용한 반도체 웨이퍼의 세정시스템
존속기간(예정)만료일 : 2042년 06월 28일
(19) 대한민국특허청(KR)
(12) 등록특허공보(B1)
(45) 공고일자 2023년01월31일
(11) 등록번호 10-2493020
(24) 등록일자 2023년01월25일
(51) 국제특허분류(Int. Cl.)
H01L 21/677 (2006.01) H01L 21/67 (2006.01)
H01L 21/687 (2006.01)
(52) CPC특허분류
H01L 21/67718 (2013.01)
H01L 21/67046 (2013.01)
(21) 출원번호 10-2022-0078731
(22) 출원일자 2022년06월28일
심사청구일자 2022년06월28일
(56) 선행기술조사문헌
JP2006073835 A*
KR1020040008331 A*
KR1020210037563 A*
KR1020120133967 A
*는 심사관에 의하여 인용된 문헌
(73) 특허권자
주식회사 영**
경기도 용인시 기흥구 중부대로
(72) 발명자
강**
경기도 용인시 기흥구 중부대로
오**
경기도 용인시 기흥구 기흥역로
(74) 대리인
김영관
전체 청구항 수 : 총 3 항 심사관 : 민지현
(54) 발명의 명칭 버퍼반전유닛을 이용한 반도체 웨이퍼의 세정시스템
(57) 요 약
본 발명은 다량의 반도체 웨이퍼를 한 번에 반전시켜서 세정공정에 소요되는 시간을 단축하고 품질을 개선할 수
있는 버퍼반전유닛을 이용한 반도체 웨이퍼의 세정시스템에 관한 것이다.
이러한 본 발명은, 다층의 슬롯에 반도체 웨이퍼를 각각 수납한 복수의 카세트가 정렬된 로더유닛; 상기 로더유
닛의 카세트에서 홀수 층 반도체 웨이퍼와 짝수 층 반도체 웨이퍼를 교번으로 꺼내서 전달하는 인덱스유닛; 상기
인덱스유닛에서 전달된 홀수 층 반도체 웨이퍼 및 짝수 층 반도체 웨이퍼를 한 번에 반전하는 버퍼반전유닛; 상
기 버퍼반전유닛으로 반전된 수 매의 반도체 웨이퍼를 세정챔버 내의 스핀 척에 로딩되도록 이송시키는 트랜스퍼
유닛;을 포함하는 것을 기술사상으로 한다.
따라서, 본 발명은 반전유닛에서 26매의 반도체 웨이퍼를 한 번에 반전시켜서 세정 공정을 진행하므로 시간을 단
축하고 물류의 정체를 해소하며, 단일의 반전유닛에 의해 제작 비용을 절감하고 유지 보수에 소요되는 비용을 절
감할 수 있는 매우 유용한 효과가 있다.
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