용인 변리사, 용인 특허사무소 찾던 고객의 특허 등록 성공 사례- 반도체 웨이퍼 그립유닛 특허 등록사례- "반도체 웨…
용인 변리사, 용인 특허사무소 찾던 고객의 특허 등록 성공 사례- 반도체 웨이퍼 그립유닛 특허 등록사례- "반도체 웨이퍼 그립유닛"
용인 변리사, 용인 특허사무소 찾던 고객의 특허 등록 성공 사례- 반도체 웨이퍼 그립유닛 특허 등록사례- "반도체 웨이퍼 그립유닛"
출원 연월일 : 2021년 04월 20일
출 원 번 호 : 10-2021-0051195
공고 연월일 : 2022년 12월 13일
공 고 번 호 :
특허결정(심결)연월일 : 2022년 11월 07일
청구범위의 항수 : 6
유 별 : H01L 21/687
발명의 명칭 : 반도체 웨이퍼 그립유닛
존속기간(예정)만료일 : 2041년 04월 20일
(19) 대한민국특허청(KR)
(12) 등록특허공보(B1)
(45) 공고일자 2022년12월13일
(11) 등록번호 10-2476523
(24) 등록일자 2022년12월07일
(51) 국제특허분류(Int. Cl.)
H01L 21/687 (2006.01)
(52) CPC특허분류
H01L 21/68728 (2013.01)
H01L 21/68785 (2013.01)
(21) 출원번호 10-2021-0051195
(22) 출원일자 2021년04월20일
심사청구일자 2021년04월20일
(65) 공개번호 10-2022-0144637
(43) 공개일자 2022년10월27일
(56) 선행기술조사문헌
KR101100281 B1*
JP11163094 A*
KR100772611 B1
US06578853 A
*는 심사관에 의하여 인용된 문헌
(73) 특허권자
주식회사 영**
경기도 용인시 기흥구 중부대로
(72) 발명자
강**
경기도 용인시 기흥구 중부대로
오**
경기도 용인시 기흥구 기흥역로
(뒷면에 계속)
(74) 대리인
김영관
전체 청구항 수 : 총 6 항 심사관 : 김대웅
(54) 발명의 명칭 반도체 웨이퍼 그립유닛
(57) 요 약
본 발명은 반도체 제조설비인 습식 세정기의 챔버 내부에서 웨이퍼를 회전 가능하게 그립할 수 있는 반도체 웨이
퍼 그립유닛에 관한 것이다.
본 발명은, 반도체 웨이퍼를 회전 가능하게 그립핑하는 그립유닛에 있어서, 중심 하부에 수직으로 형성된 가이드
홀에서 방사상으로 복수의 슬릿이 연결되어 웨이퍼가 안착되는 스핀플레이트; 상기 스핀플레이트에 안착된 상기
웨이퍼의 엣지를 그립하도록 상기 슬릿을 따라 이동 가능하게 결합된 그립핀; 상기 그립핀을 슬릿의 바깥쪽으로
이동시켜서 상기 웨이퍼의 그립을 해제하도록 상기 가이드홀에 승강 가능하게 설치된 슬라이더; 상기 슬라이더에
의해 이동된 상기 그립핀을 탄성적으로 복원시키는 제1 복원부재; 상기 슬라이더를 승강시키도록 승강샤프트로
연결된 승강실린더; 상기 승강실린더에 의해 상승된 상기 슬라이더를 탄성적으로 복원시키는 제2 복원부재; 상기
승강샤프트를 승강 가능하게 수용하도록 중공으로 형성되어 상기 스핀플레이트를 회전시키는 스핀들;을 포함하는
것을 기술사상으로 한다.
따라서, 본 발명은 반도체 세정 공정 중 전원이 차단되어도 제1 코일스프링 및 제2 코일스프링에 의해 웨이퍼의
그립 상태를 견고히 유지할 수 있고, 웨이퍼를 그립하기 위한 진공장치 등이 필요치 않으므로 그립유닛을 소형화
하여 습식 세정기 챔버의 내부 주요 공간을 확보할 수 있는 매우 유용한 효과가 있다.
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